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光刻膠有哪些分類?

發(fā)布時(shí)間:2017-05-03

光刻膠有分類如下:

    光刻膠是LCD液晶屏光刻工藝的主要材料,光刻膠種類很多,目前國內(nèi)外的光刻膠品種已達(dá)40多種。根據(jù)光刻膠曝光前后溶解度特性的變化,可將光刻膠分為正性膠和負(fù)性膠兩大類。

   1,負(fù)性膠

      這種膠在曝光前對(duì)某些有機(jī)溶劑(丙酮,丁酮,環(huán)已酮)是可溶性的,曝光后發(fā)生光聚合反應(yīng),不溶于有機(jī)溶課劑。當(dāng)用它進(jìn)行光刻時(shí),在襯底表面將得到與光刻掩模版遮光圖案完全相反的圖形,故稱之為負(fù)性膠。目前,它主要由聚肉桂酸脂類,聚脂類和聚烴類(環(huán)化像膠)等組成。

 

2,正性膠

   這種膠在曝光前對(duì)某些溶劑是不可溶的而曝光后卻變成了可溶的。使用這種膠光刻時(shí),能得到與光刻掩模版遮光圖案相同的圖形,故稱為正性膠。正性膠目前主要由鄰迭氮醌型化合物(感光性),苯駢三氮唑(增感劑)和乙二醇單乙酸丁脂(溶劑)組成。

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