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菲林版設(shè)計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2014-07-19

在液晶顯示器的生產(chǎn)過程中,需要在導(dǎo)電玻璃的導(dǎo)電話層上制成所要求的電極圖形,這個(gè)過程 目前都是用光刻技術(shù)來完成的,光刻中要用到具有特定圖形的光刻掩膜版。。光刻掩膜版分鉻板和膠片兩種。常用的軟性膠片掩膜版,通常稱為菲林,習(xí)慣上又叫做掩膜。由于使用正性膠,故設(shè)計(jì)成正版圖,通過制版方法在膠片上制成與電極圖形對(duì)應(yīng)的黑白圖案,黑色區(qū)域能遮擋光,而透明區(qū)域能讓光通過,類似常見的黑白照相底片。

    LCD生產(chǎn)工藝中幾個(gè)比較重要的工序分別為光刻,PI涂覆,摩擦,絲印成盒等。光刻工序是在ITO玻璃上刻出電極圖形,其中曝光所用的掩膜版(稱為菲林版)需在設(shè)計(jì),因?yàn)長CD盒由上,下兩層基板組成,所以有上基板光刻掩膜版和下基板光刻掩版,需要設(shè)計(jì)Maskd和Masku兩張光刻版。

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